电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数，为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况，需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种，其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及 对样品形状无严格要求的特点。因此，目前检测半导 体材料电阻率，尤其对于薄膜样品来说，四探针是最 常用的方法。 

   四探针技术要求使用四根探针等间距的接触到材料表 面。在外边两根探针之间输出电流的同时，测试中间两根探针的电压差。最后，电阻率通过样品的几何参数，输出电流源和测到的电压值来计算得出。
   溪谷科技开发的四探针法测量半导体电阻率测试方案，使用美国吉时利公司开发的高精度源测量单元 (SMU) ，既可以在输出电流时测试电压，也可以在输出电压时测试电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控，测量电压分辨率高达微伏级。支持四线开尔 文模式，因此适用于四探针测试，可以简化测试连接， 得到准确的测试结果。

  方案特点
  •上位机软件CycleStar指导电阻率测试步骤，测试方法清晰明确，即使不熟练的工程师也能迅速掌握 测试方法。
  •内置电阻率计算公式，测试结束后直接从电脑端读 取计算结果，方便灵活的做后续处理分析。
  测试材料
  •半导体材料电阻率p
  系统结构
  系统主要由源测量单元、探针台和上位机软件组成。 四探针可以通过前面板相脚头或者后面板三同轴接口 连接到2450上

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